加熱吸盤

採用低雜訊直流驅動、配備水冷裝置,

快速將加熱吸盤降至室溫、

絕緣套件用於低電流(pA)測試

如果實驗樣品需要在不同溫度下進行分析測量,
這時就可能需要加熱吸盤(Hot Chuck)或者低溫(Cryogenic)系統,
在較高溫度或低溫下可能還需要使用真空罐(Vacuum Chamber)。

加熱吸盤(Hot Chuck)
1.採用低雜訊直流驅動
2.絕緣套件用於低電流(pA)測試
3.配備水冷裝置,快速將加熱吸盤降至室溫
4.大多數探針台可安裝
5.不需特殊連接轉接頭即可安裝
6.吸盤材質為不鏽鋼,以獲取最佳均溫性,避免重金屬汙染
7.配備溫度控制器,可選多種加溫曲線
8.設計有冷卻隔絕裝置,保證加熱吸盤溫度不會通過金屬傳導而引起探針台整體精度下降

吸盤尺寸 3'', 4'', 6'', 8'', 12'' dia. x 1'' Thick
吸盤平坦度 +/-10μm
溫度範圍 RT-200゚C
溫度解析度 0.1゚C
溫度準確度 100゚C,±0.5゚C;  200゚C,±1゚C;

300゚C,±2゚C;  400゚C,±3゚C

從25゚C加熱到

4英寸吸盤所需時間(典型值)

100゚C

2:00

150゚C

3:30

200゚C

5:00

加熱驅動方式 直流
材料 不鏽鋼
電源 110 VAC, 60Hz
220 VAC, 50Hz
加熱功率 4'' 700W ;  6'' 1000W ;  8'' 1500 W
真空泵 -250 mmHg, 7 liter/min
水流量 20 升/分鐘
溫度控制器
尺寸 350mmW x 300mmD x 150mmH
重量 20 kg