射頻探針台

滿足不同頻率的射頻測試應用,

可根據測試需求訂製高頻探針台,

配合各大品牌倍頻器使用

性能:

  • 鍍金真空吸附夾頭: 對應可選4" ,6",8",12"產品
  • 大旋鈕移動夾頭台,X-Y方向行程:6"-6"
  • 夾頭快速拉出裝置便於放置/拿去樣品
  • 線性無回差調節
  • 檯面快速升/降行程:6mm,精調升/降行程:25mm
  • 樣品尺寸: 5x5mm ~ 4" 6", 8", 12"
  • 夾頭平整度: 10um
  • 夾頭旋轉角度:0~360°
  • Chuck Theta: ±15
  • 大旋鈕滑台X-Y方向精度: 1um
  • 檯面上/下升降搖杆/旋鈕
  • 顯微鏡傾仰裝置

總體規格特點:

  • 重量:50kg(含顯微鏡)
  • 尺寸:590mm寬*500mm長*700mm高(含顯微鏡)
  • 優化的人體工學設計,便於工程師長時間舒適的操作

顯微鏡操控規格:

  • 在探針台右側有搖桿,提起90度後,可以使顯微鏡快速傾仰抬起,方便在測試時
    更換物鏡鏡頭
  • 顯微鏡後側有X/Y軸調節輪,可調節顯微鏡在x-y方向的移動,移動範圍2"X2",
    精度1μm
  • 顯微鏡Z軸帶有調焦粗調節輪和細調節輪,粗調節輪方便快速調焦,細調節輪方便
    精確調焦,使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm,移動精度1μm

檯面規格:

  • 探針台檯面平整度:5μm
  • 探針台左側有搖杠可以控制台面快速上下升降6mm。在探針台加裝探針卡點測
    wafer時方便對die的重選擇
  • 探針台右上方有轉輪搖桿,搖動時可使檯面線性上下升降,升降範圍25mm,
    精度1μm。在探針台加裝探針卡點測wafer時方便對die的復位

夾頭(載物台)規格:

  • 6" 夾頭,夾頭平整度:5μm,採用真空吸附方式吸附,帶真空吸附孔,
    中心孔徑250μm-1mm(可根據客戶需求訂製孔徑大小),最小可以吸住尺寸
    為0.3mmX0.3mm,最大能夠吸住尺寸為6"X6"
  • 夾頭可360度旋轉,旋轉角度可微調,微調精度為0.1度,帶角度鎖定旋鈕
  • 夾頭X,Y軸調節旋鈕可以控制夾頭做X-Y方向的移動,移動範圍為6"X6",
    移動精度為1μm,為方便點測的穩定性,帶有鎖住功能。
    如果點測6"wafer的時候,可以保證6"wafer的每一點都能夠點測到
  • 顯微鏡傾仰裝置
  • 射頻測試探頭/電纜
  • 有源探頭
  • 低電流/電容測試
  • 高壓測試
  • 鐳射修復
  • CCD/數位相機,USB介面
  • 探針卡/封裝/PCB板夾具
  • 加熱裝置
  • 防震桌
  • 遮罩箱
  • 顯微鏡暗視野/Normarski檢測