真空泵

無油靜音，

特別適合實驗室和無塵室使用；

7L min的流量，

可24小時無間斷運轉

  • 規格
    電壓：AC220V
    流量：7L/min
    真空度：-60kPa
    品質：0.7kg
  • 功能
    提供真空動力源。
    配合夾頭（CHUCK）上的真空吸附孔來固定晶圓或元件樣品
    配合真空吸附型探針座，將探針座固定在平臺上
  • 特點
    無油靜音，特別適合實驗室和無塵室使用
    7L/min的流量，可24小時無間斷運轉