EB系列探針台(EB-4/EB-6/EB-8/EB-12)

同軸旋鈕,可單手同時操作夾頭XY軸移動

樣品可快速移動到指定位置進行量測

性能:

真空吸附夾頭:對應可選4" ,6",8",12"產品

夾頭X-Y方向精確線性移動行程:6"-6"

線性無回差調節

夾頭上/下移動行程:4mm

4", 6", 8", 12" 晶圓 (晶圓尺寸)

樣品尺寸: 5x5mm ~ 4" 6", 8", 12"

夾頭平整度: 10um

夾頭旋轉角度:0~360°

附件:

顯微鏡傾仰裝置

鍍金夾頭

射頻測試探頭/電纜

有源探頭

低電流/電容測試

高壓測試

鐳射修復

CCD/數位相機,USB介面

探針卡/封裝/PCB板夾具

加熱裝置

防震桌

遮罩箱

顯微鏡暗視野/Normarski檢測

總體規格特點:

重量:60kg(含顯微鏡)。

尺寸:580mm寬*460mm長*700mm高(含顯微鏡)。

優化的人體工學設計,便於工程師長時間舒適操作。

顯微鏡操控規格:

顯微鏡後側有X/Y軸調節輪,可調節顯微鏡在x-y方向的移動,移動範圍2"X2",精度1μm。

顯微鏡Z軸帶有粗調節輪和細調節輪,粗調節輪方便快速調焦,細調節輪方便精確調焦,
使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm,移動精度10μm。

檯面規格:

探針台檯面平整度:5μm。

探針台檯面為固定檯面。

夾頭(載物台)規格:

6"夾頭,夾頭平整度:5μm,採用真空吸附方式吸附,帶真空吸附孔,中心孔徑 250μm-1mm
(可根據客戶需求訂製孔徑大小),最小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm,最大能夠吸住尺寸
為6"X6"。

夾頭可360度旋轉,旋轉角度可微調,微調精度為0.1度,帶角度鎖定旋鈕。

夾頭座有搖桿,提起90度後,可以使夾頭快速線性上升4mm,在做wafer點測時方便快速移動
點測位置,同時做普通die或者decap後晶片點測時,方便快速更換樣品。

夾頭X,Y軸調節旋鈕可以控制夾頭做X-Y方向的移動,移動範圍為6"X6",移動精度為10μm,
為方便點測的穩定性,帶有鎖住功能如果點測6"wafer的時候,可以保證6"wafer的每一點都
能夠點測到。