SuperView W1 白光干涉儀

非接觸式無損檢測
一鍵分析、快速高效

§性能特色§
1.高精度、高重複性
2.一體化操作的測量分析軟體
3.精密操縱把手
4.雙重防撞保護措施
5.雙通道氣浮隔振系統

 一、產品描述

  • SuperView W1白光干涉儀是一款用於對各種精密元件及材料表面進行亞奈米級測量的
    檢測儀器。它是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模組、3D 建模演算法等對
    元件表面進行非接觸式掃描並建立表面3D圖像,通過系統軟體對元件表面3D圖像進行
    資料處理與分析,並獲取反映元件表面品質的2D、3D參數,從而實現元件表面形態
    3D測量的光學檢測儀器。
  • SuperView W1白光干涉儀可廣泛應用於半導體製造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃螢幕
    及其精密配件、光學加工、微奈材料及製造、汽車零件、MEMS元件等超精密加工行業
    及航空航太、國防軍工、科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到
    高反射率的物體表面,從奈米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率
    等,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300餘種2D、3D參數作為評價標準。

二、產品功能

  1. 各種類型樣品表面微觀形態的3D輪廓重建與測量功能
  2. 表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能,粗糙度範圍涵蓋0.1nm到數十微米的級別
  3. 壓扁、去除形狀、去噪、過濾等資料處理功能
  4. 粗糙度分析、輪廓分析、結構分析、功能分析等表面參數分析功能
  5. 自動對焦、自動測量、自動多區域測量、自動拼接測量等自動化功能
  6. 一鍵分析、多檔分析等快速、批量分析功能
  7. word、excel等資料報表匯出功能

三、應用範例:

半導體.拋光矽晶片、減薄矽晶片、晶圓IC
3C電子.藍寶石玻璃粗糙度、手機金屬殼模具瑕疵、手機油墨螢幕高度差
超精密加工.光學透鏡 精密加工.發動機葉片
精密加工.金字塔型金剛石磁頭 標準樣塊.單刻度臺階、多刻度粗糙度

1.技術規格表

型號 W1
光源 白光LED
影像系統 1024×1024(2048x2048可選)
干涉物鏡 10×(2.5×,5×, 20×,50×,100×可選)
光學變焦 1×(0.5×,0.75×可選)
物镜塔台 3孔手動(5孔電動可選)
XY
位移
平臺
尺寸 320×200㎜
移動範圍 140×110㎜
負載 10kg
控制方式 電動
水準調整 ±5°手動
Z
聚焦
行程 100㎜
控制方式 電動
Z向掃描範圍 10 ㎜
Z向解析度 0.1nm
可測樣品反射率 0.5%~100%
粗糙度RMS重複性 0.005nm
臺階測量 準確度 0.75%
重複性 0.1% 1σ
使用環境要求 無強磁場,無腐蝕氣體
工作溫度:15℃ ~30℃,溫度梯度 < 1℃/15分鐘
相對濕度:5%-95%RH,無冷凝
環境振動:VC-C或更優

2.光學規格表

物鏡倍率 2.5× 10× 20× 50× 100×
數值孔徑 0.075 0.13 0.3 0.4 0.55 0.7
光學解析度@550nm(µm) 3.7 2.1 0.92 0.69 0.5 0.4
焦深(µm) 48.6 16.2 3.04 1.71 0.9 0.56
工作距離(mm) 10.3 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0
視野
H×V(mm)
影像系統
1024×1024
0.5× 3.84×3.84 1.92×1.92 0.96×0.96 0.48×0.48 0.192×0.192 0.096×0.096
0.75× 2.56×2.56 1.28×1.28 0.64×0.64 0.32×0.32 0.128×0.128 0.064×0.064
1.92×1.92 0.96×0.96 0.48×0.48 0.24×0.24 0.096×0.096 0.048×0.048