DOM-1000 超高解析4K數位顯微鏡
3D 超景深數位顯微鏡:超越極限的微觀視覺與精密量測
整合 4K 超高清成像、全方位傾斜觀察與自動化 3D 地形重構,為半導體、材料科學及生物研究提供無死角的精密檢測方案,一鍵實現從 2D 觀察到 3D 數據分析的完整流程。
EDF 超景深影像疊圖技術
自動擷取不同焦平面影像並合成為單張全景深圖像,解決傳統光學顯微鏡景深受限問題,適用於高低差大的樣品表面分析,無需手動調焦即可獲得完整清晰影像。
全三軸電動精密控制
X、Y、Z 軸全電動化設計,搭配專用控制器可快速切換倍率與視野位置。自動對焦功能減少人為操作誤差,提升長時間檢測的穩定性與重複性,特別適合批量品管作業。
一體化測量與分析平台
內建多種手動與自動測量工具(長度、角度、面積、圓徑等),搭配智能邊緣識別演算法,可快速完成尺寸檢測與統計分析。測量數據可直接匯出為 Excel 或 PDF 報告,符合 ISO 品管流程。
多元化照明系統
配備六種專業照明模式(同軸照明、同軸偏射、環形照明、環形偏射、混合照明、透射照明),可針對不同材料特性與表面狀態選擇最佳成像條件。偏射照明強化表面紋理與微小缺陷對比度,混合照明則可同時呈現表面細節與整體輪廓,大幅提升檢測靈敏度。
直覺化操作介面設計
簡潔的圖形化軟體介面,整合影像擷取、測量、報告生成於單一平台。新手可快速上手,資深工程師可自訂測量模板與自動化腳本,大幅縮短從樣品放置到報告輸出的作業時間。
半導體晶圓檢測
檢測晶圓表面缺陷、電路線寬、金屬化層厚度與對位精度。EDF 景深疊圖功能可清晰呈現多層結構,3D 輪廓掃描精準量測蝕刻深度與台階高度,滿足先進製程 (7nm 以下) 的品管需求。
- 晶圓表面刮痕與顆粒污染檢測
- 銅導線線寬與間距自動測量
- 凸塊 (Bump) 高度與共面性分析
- 晶片切割道 (Scribe Line) 完整性檢查
PCB 電路板品管
檢測印刷電路板的線路完整性、焊點品質、孔位精度與表面處理狀況。同軸偏射與環形偏射照明可快速凸顯不同材質的缺陷特徵,混合照明模式則可同時呈現焊點立體形貌與表面細節,大幅提升檢測效率。
- 焊錫橋接 (Solder Bridge) 與冷焊偵測
- 導線斷路與短路快速診斷
- 通孔 (Via) 與盲孔直徑自動測量
- 防焊層 (Solder Mask) 對位偏移檢查
金屬材料分析
觀察金屬材料的表面粗糙度、裂紋、刮痕與夾雜物。環形偏射照明可強化表面微小紋理對比度,搭配 EDF 技術可對不平整表面進行完整成像與測量,同軸照明則適合檢測鏡面拋光件的細微缺陷。
- 表面粗糙度 (Ra/Rz) 輪廓量測
- 焊接接頭熔深與熱影響區分析
- 鍍層厚度與均勻性檢測
- 機加工刀痕與表面處理品質評估
精密零件尺寸驗證
檢測機械加工件、模具、齒輪等精密零件的尺寸公差、表面處理與幾何特徵。自動測量功能可批量檢測同類零件,生成統計報告,符合 ISO 9001 品管要求。
- 螺紋牙距與牙深精密測量
- 齒輪齒形輪廓與節距檢測
- 模具拋光面粗糙度評估
- O-Ring 溝槽尺寸與對稱度驗證
3D 列印成品檢驗
檢測積層製造 (AM) 零件的表面粗糙度、層間結合品質、孔隙率與尺寸精度。3D 掃描功能可重建零件輪廓並與 CAD 模型比對,快速發現列印偏差與缺陷。
- SLM/SLS 金屬粉末熔融品質檢測
- FDM 塑料層紋與支撐殘留檢查
- 內部孔隙與裂紋識別
- 成品尺寸與公差自動比對
| 規格項目 | 參數 |
|---|---|
| 光學系統 | 高解析度 APO 複消色差物鏡 |
| 放大倍率範圍 | 20X – 7500X (連續變倍,無需更換物鏡) |
| 影像感測器 | 4K CMOS (3840 x 2160 解析度) |
| 幀率 | 60 fps @ Full HD / 30 fps @ 4K |
| XY 載物台行程 | 200mm x 200mm (全電動控制) |
| Z 軸行程 | 150mm (電動對焦,自動尋焦功能) |
| 載物台最大承重 | 5 kg |
| 觀察模式 | 明場 (Brightfield) |
| 照明系統 | 六種照明模式:同軸照明 / 同軸偏射 / 環形照明 / 環形偏射 / 混合照明 / 透射照明 LED 光源,亮度可調,色溫 6500K |
| EDF 景深疊圖 | 支援 (自動擷取多層影像合成,最大疊圖層數 200 層) |
| 3D 輪廓掃描 | 支援 (高度測量精度 ±1μm,可輸出 3D 點雲數據) |
| 測量功能 | 長度、角度、圓徑、面積、點到線距離、輪廓線描繪 支援自動邊緣識別與批量測量 |
| 測量精度 | XY 平面:±2μm (於 100X 放大倍率下) Z 軸高度:±1μm |
| 重複精度 | ±0.5μm (10 次測量標準差) |
| 影像拼接 | 支援 (自動拼接最大 100 張影像,無偏移誤差) |
| 控制方式 | 電動控制器 + 軟體介面 + 可選配腳踏開關 |
| 軟體功能 | 即時影像顯示、測量標註、報告生成 (PDF/Excel) 支援自訂測量模板與自動化腳本 |
| 資料輸出格式 | JPG, PNG, TIFF, BMP / 測量數據:CSV, Excel, PDF |
| 操作系統 | Windows 10 / 11 (64-bit) |
| 電源規格 | AC 100-240V, 50/60Hz, 最大功耗 150W |
| 機身尺寸 (W x D x H) | 450mm x 550mm x 650mm |
| 工作環境 | 溫度 5°C – 40°C,濕度 20% – 80% RH (無凝結) |
| 選配配件 | 自動化載物台、校正標準片、防震平台、大尺寸樣品夾具 |