DOM-1000 超高解析4K數位顯微鏡

3D 超景深數位顯微鏡:超越極限的微觀視覺與精密量測

整合 4K 超高清成像、全方位傾斜觀察與自動化 3D 地形重構,為半導體、材料科學及生物研究提供無死角的精密檢測方案,一鍵實現從 2D 觀察到 3D 數據分析的完整流程。

EDF 超景深影像疊圖技術

自動擷取不同焦平面影像並合成為單張全景深圖像,解決傳統光學顯微鏡景深受限問題,適用於高低差大的樣品表面分析,無需手動調焦即可獲得完整清晰影像。

全三軸電動精密控制

X、Y、Z 軸全電動化設計,搭配專用控制器可快速切換倍率與視野位置。自動對焦功能減少人為操作誤差,提升長時間檢測的穩定性與重複性,特別適合批量品管作業。

一體化測量與分析平台

內建多種手動與自動測量工具(長度、角度、面積、圓徑等),搭配智能邊緣識別演算法,可快速完成尺寸檢測與統計分析。測量數據可直接匯出為 Excel 或 PDF 報告,符合 ISO 品管流程。

多元化照明系統

配備六種專業照明模式(同軸照明、同軸偏射、環形照明、環形偏射、混合照明、透射照明),可針對不同材料特性與表面狀態選擇最佳成像條件。偏射照明強化表面紋理與微小缺陷對比度,混合照明則可同時呈現表面細節與整體輪廓,大幅提升檢測靈敏度。

直覺化操作介面設計

簡潔的圖形化軟體介面,整合影像擷取、測量、報告生成於單一平台。新手可快速上手,資深工程師可自訂測量模板與自動化腳本,大幅縮短從樣品放置到報告輸出的作業時間。

半導體晶圓檢測

檢測晶圓表面缺陷、電路線寬、金屬化層厚度與對位精度。EDF 景深疊圖功能可清晰呈現多層結構,3D 輪廓掃描精準量測蝕刻深度與台階高度,滿足先進製程 (7nm 以下) 的品管需求。

  • 晶圓表面刮痕與顆粒污染檢測
  • 銅導線線寬與間距自動測量
  • 凸塊 (Bump) 高度與共面性分析
  • 晶片切割道 (Scribe Line) 完整性檢查

PCB 電路板品管

檢測印刷電路板的線路完整性、焊點品質、孔位精度與表面處理狀況。同軸偏射與環形偏射照明可快速凸顯不同材質的缺陷特徵,混合照明模式則可同時呈現焊點立體形貌與表面細節,大幅提升檢測效率。

  • 焊錫橋接 (Solder Bridge) 與冷焊偵測
  • 導線斷路與短路快速診斷
  • 通孔 (Via) 與盲孔直徑自動測量
  • 防焊層 (Solder Mask) 對位偏移檢查

金屬材料分析

觀察金屬材料的表面粗糙度、裂紋、刮痕與夾雜物。環形偏射照明可強化表面微小紋理對比度,搭配 EDF 技術可對不平整表面進行完整成像與測量,同軸照明則適合檢測鏡面拋光件的細微缺陷。

  • 表面粗糙度 (Ra/Rz) 輪廓量測
  • 焊接接頭熔深與熱影響區分析
  • 鍍層厚度與均勻性檢測
  • 機加工刀痕與表面處理品質評估

精密零件尺寸驗證

檢測機械加工件、模具、齒輪等精密零件的尺寸公差、表面處理與幾何特徵。自動測量功能可批量檢測同類零件,生成統計報告,符合 ISO 9001 品管要求。

  • 螺紋牙距與牙深精密測量
  • 齒輪齒形輪廓與節距檢測
  • 模具拋光面粗糙度評估
  • O-Ring 溝槽尺寸與對稱度驗證

3D 列印成品檢驗

檢測積層製造 (AM) 零件的表面粗糙度、層間結合品質、孔隙率與尺寸精度。3D 掃描功能可重建零件輪廓並與 CAD 模型比對,快速發現列印偏差與缺陷。

  • SLM/SLS 金屬粉末熔融品質檢測
  • FDM 塑料層紋與支撐殘留檢查
  • 內部孔隙與裂紋識別
  • 成品尺寸與公差自動比對
規格項目 參數
光學系統 高解析度 APO 複消色差物鏡
放大倍率範圍 20X – 7500X (連續變倍,無需更換物鏡)
影像感測器 4K CMOS (3840 x 2160 解析度)
幀率 60 fps @ Full HD / 30 fps @ 4K
XY 載物台行程 200mm x 200mm (全電動控制)
Z 軸行程 150mm (電動對焦,自動尋焦功能)
載物台最大承重 5 kg
觀察模式 明場 (Brightfield)
照明系統 六種照明模式:同軸照明 / 同軸偏射 / 環形照明 / 環形偏射 / 混合照明 / 透射照明
LED 光源,亮度可調,色溫 6500K
EDF 景深疊圖 支援 (自動擷取多層影像合成,最大疊圖層數 200 層)
3D 輪廓掃描 支援 (高度測量精度 ±1μm,可輸出 3D 點雲數據)
測量功能 長度、角度、圓徑、面積、點到線距離、輪廓線描繪
支援自動邊緣識別與批量測量
測量精度 XY 平面:±2μm (於 100X 放大倍率下)
Z 軸高度:±1μm
重複精度 ±0.5μm (10 次測量標準差)
影像拼接 支援 (自動拼接最大 100 張影像,無偏移誤差)
控制方式 電動控制器 + 軟體介面 + 可選配腳踏開關
軟體功能 即時影像顯示、測量標註、報告生成 (PDF/Excel)
支援自訂測量模板與自動化腳本
資料輸出格式 JPG, PNG, TIFF, BMP / 測量數據:CSV, Excel, PDF
操作系統 Windows 10 / 11 (64-bit)
電源規格 AC 100-240V, 50/60Hz, 最大功耗 150W
機身尺寸 (W x D x H) 450mm x 550mm x 650mm
工作環境 溫度 5°C – 40°C,濕度 20% – 80% RH (無凝結)
選配配件 自動化載物台、校正標準片、防震平台、大尺寸樣品夾具

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