性能：

真空吸附夾頭：對應可選4″ ，6″，8″，12″產品

夾頭X-Y方向精確線性移動行程：6″-6″

線性無回差調節

夾頭上/下移動行程：4mm

4″, 6″, 8″, 12″ 晶圓 (晶圓尺寸)

樣品尺寸: 5x5mm ~ 4″ 6″, 8″, 12″

夾頭平整度: 10um

夾頭旋轉角度：0~360°

附件：

顯微鏡傾仰裝置

鍍金夾頭

射頻測試探頭/電纜

有源探頭

低電流/電容測試

高壓測試

鐳射修復

CCD/數位相機，USB介面

探針卡/封裝/PCB板夾具

加熱裝置

防震桌

遮罩箱

顯微鏡暗視野/Normarski檢測

總體規格特點：

重量：60kg（含顯微鏡）。

尺寸：580mm寬*460mm長*700mm高（含顯微鏡）。

優化的人體工學設計，便於工程師長時間舒適操作。

顯微鏡操控規格：

顯微鏡後側有X/Y軸調節輪，可調節顯微鏡在x-y方向的移動，移動範圍2″X2″，精度1μm。

顯微鏡Z軸帶有粗調節輪和細調節輪，粗調節輪方便快速調焦，細調節輪方便精確調焦，
使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm，移動精度10μm。

檯面規格：

探針台檯面平整度：5μm。

探針台檯面為固定檯面。

夾頭（載物台）規格：

6″夾頭，夾頭平整度：5μm，採用真空吸附方式吸附，帶真空吸附孔，中心孔徑 250μm-1mm
（可根據客戶需求訂製孔徑大小），最小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，最大能夠吸住尺寸
為6″X6″。

夾頭可360度旋轉，旋轉角度可微調，微調精度為0.1度，帶角度鎖定旋鈕。

夾頭座有搖桿，提起90度後，可以使夾頭快速線性上升4mm，在做wafer點測時方便快速移動
點測位置，同時做普通die或者decap後晶片點測時，方便快速更換樣品。

夾頭X，Y軸調節旋鈕可以控制夾頭做X-Y方向的移動，移動範圍為6″X6″，移動精度為10μm，
為方便點測的穩定性，帶有鎖住功能如果點測6″wafer的時候，可以保證6″wafer的每一點都
能夠點測到。