Nikon VMZ-S系列 精密自動影像量測系統
重新定義量測速度與精度標準
專為滿足半導體封裝、載板與精密電子零組件的嚴苛檢測需求而生。搭載 Nikon 獨家光學系統與全新高速載物台，在維持亞微米級精度的同時，顯著提升量測通量，是實現高產能品質管控的最佳自動化解決方案。
大幅提升的量測通量（Throughput）
相較前代機型，VMZ-S 系列透過優化的載物台控制演算法與高響應驅動系統，顯著縮短載物台移動與停止的整定時間。搭配高速攝影機與即時影像處理技術，能高效完成大量工件的連續檢測，直接提升產線單位時間產出（UPH），滿足高效率生產需求。
Nikon 傳奇光學與 15x 變焦系統
標配 Nikon 專有遠心光學系統，提供業界領先的變焦倍率（Type 1–4）與廣視場選項（Type A）。搭載 TTL 雷射自動對焦系統，即使面對透明薄膜或高反射表面，也能實現快速且高重複性的 Z 軸量測，確保精準影像捕捉。
8 扇區多角度環形照明
內建 8 扇區 LED 環形照明系統，支援三種入射角度（內、外、低角度），有效解決複雜邊緣偵測難題。使用者可自由調整照明方向與強度，精確突顯倒角、模具邊界或微小瑕疵，提升邊緣抓取的穩定性與準確度。
XGA 相機模組強化影像品質
採用 XGA（1024×768）高解析度相機模組，大幅提升影像對比度與清晰度。精準邊緣辨識能力有效降低量測誤差，特別適合低對比度樣品（如透明材料或拋光金屬）的尺寸檢測，確保操作者在長時間使用中維持視覺舒適度。
視野內精度標示系統
業界首創雙重精度標示：PFV2D,MPE（完全視野內量測，載物台不移動）與 PF2D,MPE（視野內量測，載物台移動）。此系統明確定義不同量測條件下的精度規格，讓客戶依據實際應用選擇最適策略，完全符合 ISO 10360 標準，提升量測可靠性。
高速載物台系統
優化載物台移動加速度，針對 10 mm 以內短距離移動大幅縮短時間。微米級重現性確保批量檢測的一致性，搭配重新設計的人體工學操縱桿，提供精準且舒適的手動控制體驗，適合精密製造環境。
AutoMeasure2020 智能量測軟體
支援量測程式自動編寫（Level 2），簡化重複性檢測流程。新增多點自動對焦、矩形尋邊器、計數器歸零功能與 Excel 輸出巨集，針對打線線高、PCB、WLP、Probe Card 等應用提供專業解決方案，可減少人為操作時間達 40% 以上。
USB3.0 高速通訊介面
採用 USB 3.0 介面加速影像傳輸與載物台控制，即時影像顯示無延遲，提升整體操作流暢度。支援大量測量數據快速匯出，輕鬆整合至生產管理系統（MES）或品質管理系統（QMS），實現智慧製造的數據串聯。
VMZ-S3020 標準型
- 量測行程 (X × Y × Z)： 300 × 200 × 200 mm
- 設備定位： 標準型高精度機款，佔地面積小，適合空間有限的環境。
- 適用場景： 實驗室研發、小型電子零件、導線架（Lead frames）、精密沖壓件與中小型機械零件的品管檢測。
VMZ-S4540 進階型
- 量測行程 (X × Y × Z)： 450 × 400 × 200 mm
- 設備定位： 中型行程機款，兼顧空間效率與應用彈性，可搭配自動化上下料系統。
- 適用場景： 中型 PCB 板、Probe Card、多穴模具治具、大型小型工件矩陣排列的批次檢測，以及中大型樣品的精密量測。
VMZ-S6555 高階型
- 量測行程 (X × Y × Z)： 650 × 550 × 200 mm
- 設備定位： 大行程旗艦機款，提供最大量測空間，支援多工位批量檢測與自動化整合。
- 適用場景： 大型 PCB 面板、顯示器組件、大型注塑件、航太零件、大型模具與晶圓級封裝的高密度大量測任務。
Nikon VMZ-S 系列技術規格表
| 規格項目 | VMZ-S3020 | VMZ-S4540 | VMZ-S6555 |
|---|---|---|---|
| 量測行程 (X×Y×Z) |
300×200×200 mm | 450×400×200 mm | 650×550×200 mm |
| Type TZ 行程 (低倍率鏡頭) |
250×200×200 mm | 400×400×200 mm | 600×550×200 mm |
| 最小顯示解析度 | 0.01 μm | ||
| 最大工件載重 (括號為保證精度) |
20 kg (5 kg) | 40 kg (20 kg) | 50 kg (30 kg) |
| 量測精度 (MPE) *L: mm | |||
| XY 軸精度 (Eux, Euy) |
1.2 + 4L/1000 μm | ||
| XY 平面精度 (Euxy) |
2.0 + 4L/1000 μm | ||
| Z 軸精度 (Euz) |
1.2 + 5L/1000 μm | ||
| 探測誤差 | 接觸式 (PF2D): 0.8 μm 影像 (PFv2D): 0.3 μm |
||
| 相機 | B&W / Color 1/3 CMOS | ||
| 工作距離 (WD) | Type 1-3: 50mm / Type 4: 30mm Type TZ: 11mm / Type A: 73.5mm |
||
| 自動對焦 (AF) | Laser AF (Type A 選配) / Image AF Laser AF 重複性: 2σ ≤ 0.5 μm |
||
| 照明系統 | Type 1~4: 落射/透射/8段環形(3角度) Type TZ: 左(落射/暗), 右(落射/透射/暗) Type A: 落射/透射/8段環形(1角度) |
||
| 電源需求 | AC100-240V, 50/60Hz | ||
| 尺寸 (W×D×H) & 重量 |
700×730×1793mm (265 kg) |
1000×1340×1818mm (510 kg) |
1200×1640×1818mm (740 kg) |
| 佔地面積 | 2700 × 2400 mm | 3000 × 3000 mm | 3200 × 3300 mm |
1) 依據 Nikon 內部測量方法測定。
2) 搭配 Type 2 測頭, 15x 倍率。
3) 工件：校正片上的鉻，不包含 Type A 測頭。
4) 佔地面積包含維修空間。