•    尺寸小型化
•    輕量化
•    低成本方案
•    電學、光學領域應用
•    發光二極體、鐳射二極體、PD的光強度和波長測量
•    射頻探測
•    適用於大學、實驗室
•    4英寸以下晶圓的理想選擇
•    側面調節吸盤
•    無回差調節

規格：

•    真空吸盤材質：4英寸不銹鋼 （平整度 ± 10µm）
•    吸盤調節行程：3英寸X 3英寸（精度10 µm）
•    吸盤調節角度：0~30度
•    吸盤：三條真空線槽對應不同尺寸樣品
•    樣品尺寸：5mm X 5mm 至 4英寸
•    台板：可容納最多6個探針座

需求：

•    電力需求：220V 50Hz交流電
•    真空泵：真空壓強-250毫米汞柱（約-33.3KPa）

尺寸：

•    320mm寬X  320mm長X  400mm高（包括顯微鏡）
•    淨重 20Kg，包括顯微鏡

•    吸盤推向位置（chuck stage push to position）
•    真空控制的吸盤調節系統
•    顯微鏡傾斜機構以及準確位置快速轉換機構
•    光強度/波長測量適配器
•    射頻探針/電纜
•    有源探針
•    低電流/低電容探針
•    高壓探針
•    超聲波切割機（cutter）
•    視頻監控
•    顯微攝影
•    封裝器件夾具
•    PCB夾具
•    液晶套件
•    防震桌面
•    遮罩箱
•    測試工作臺
•    帶腳輪的設備箱
•    吸盤真空圖樣（Pattern）
•    鍍金吸盤