加熱吸盤
採用低雜訊直流驅動、配備水冷裝置，
快速將加熱吸盤降至室溫、
絕緣套件用於低電流(pA)測試
如果實驗樣品需要在不同溫度下進行分析測量，
這時就可能需要加熱吸盤(Hot Chuck)或者低溫(Cryogenic)系統,
在較高溫度或低溫下可能還需要使用真空罐(Vacuum Chamber)。
加熱吸盤(Hot Chuck)
1.採用低雜訊直流驅動
2.絕緣套件用於低電流(pA)測試
3.配備水冷裝置，快速將加熱吸盤降至室溫
4.大多數探針台可安裝
5.不需特殊連接轉接頭即可安裝
6.吸盤材質為不鏽鋼，以獲取最佳均溫性，避免重金屬汙染
7.配備溫度控制器，可選多種加溫曲線
8.設計有冷卻隔絕裝置，保證加熱吸盤溫度不會通過金屬傳導而引起探針台整體精度下降
| 吸盤尺寸 | 3”, 4”, 6”, 8”, 12” dia. x 1” Thick | ||
| 吸盤平坦度 | +/-10μm | ||
| 溫度範圍 | RT-200ﾟC | ||
| 溫度解析度 | 0.1ﾟC | ||
| 溫度準確度 | 100ﾟC,±0.5ﾟC; 200ﾟC,±1ﾟC;
300ﾟC,±2ﾟC; 400ﾟC,±3ﾟC |
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| 從25ﾟC加熱到
4英寸吸盤所需時間(典型值) |
100ﾟC
2:00 |
150ﾟC
3:30 |
200ﾟC
5:00 |
| 加熱驅動方式 | 直流 | ||
| 材料 | 不鏽鋼 | ||
| 電源 | 110 VAC, 60Hz 220 VAC, 50Hz |
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| 加熱功率 | 4” 700W ; 6” 1000W ; 8” 1500 W | ||
| 真空泵 | -250 mmHg, 7 liter/min | ||
| 水流量 | 20 升/分鐘 | ||
| 溫度控制器 | |||
| 尺寸 | 350mmW x 300mmD x 150mmH | ||
| 重量 | 20 kg | ||